原子层气相沉积系统(GY202309248)自购结果公示
该项目经自行采购程序，允许自购： 供应商： **韫茂科技有限公司 中标金额： ****** 公示开始日期 ****-**-** 公示截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 晶体材料研究所 付款方式 预付**%，其余货款货到验收合格后一年内付清 签约时间要求 到货时间要求 收货地址 **大学中心校区功能材料楼***室 采购清单* 采购物品 采购数量 计量单位 原子层气相沉积系统 * 台 品牌 **韫茂 规格型号 TEM-*** 技术参数 *设备整机尺寸 (L×W×H)：不大于***×***×***mm； *工艺温度：正常室温到***℃之间可调； *成膜不均匀性：<*%（氧化铝）； *前驱体源：配备不少于 * 个单管式 **ml 前驱体源，一条清扫气线； *源瓶配备不少于* 个单管式 **ml 前驱体源，含 * 个手阀； *源瓶加热器配备 不少于* 个 ***℃单管加热器，精度：***±* oC； *进样室采用抽屉式装载样品，可装*寸晶圆片大小 ； *腔体需为真空腔体，***℃高温腔体，温度控制精度 *** ±* oC； *包括多组毫秒级 ALD 阀门，响应时间≤*ms，ALD 阀组采用紧凑式面板安装，氧化源管路采用双阀门设计； **阀组采用自动化加热，最高加热温度 ≥***oC； **气体质量流量计： * 个精确的载气流量控制，氩/氮气最大量程 ***sccm； **真空规：薄膜真空规，实时显示工艺压力，标准 **torr 电容薄膜； **真空泵抽速： **m*/H油泵，含泵前段返油过滤器，泵后端油雾过滤器，反应腔抽真空时间≤**S； **设备极限真空度≤**mtorr； **需配备腔体衬板，提高腔体使用寿命，便于维护清洗，减少 particle 脱落； **配备专业的 ALD 泵前级过滤器，保护真空泵； **需配备一体式工控机≥**.* 寸，带触摸功能； **软件基本功能：行业标准多个 GUI 界面，用于自动和手动操作，系统监视器，报警和配方编辑，工艺菜单编辑功能，简易工步预设格式，多工艺菜单存储功能； **报警及安全控制 ：配备温度，压力，气体流量，源串扰，卸载，电气和气动控制异常报警系统 ； **可集成最高浓度 **%臭氧发生器模块，替代水工艺； **可集成到现有手套箱内使用，水氧浓度<*PPM。 **后续免费升级至*英寸沉积托盘，***度加热托盘 售后服务 服务网点:外地;质保期限:*年;响应期限:报修后**小时;
资产与实验室管理部
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